[국제 그린에너지 엑스포 정보]ATI

1. 회사 이름
ATI
 
2. 회사의 분야
광학검사장비 (AOI: auto optical inspection) 전문 기업

3. 주력 전시상품
ATI ezVision 3600은 5~6” Mono/Multi Crystal Silicon Wafer 검사가 가능하며, 5” Wafer 기준 3,600 Wafers / Hour의 생산.
고해상도의 Vision Camera를 적용하여 Wafer의 Geometry 및 정밀 검사가 가능하며, Geometry는 Accuracy 100um로 Width, Height, Diagonal, Parallelism 측정 가능.
Top & Bottom Camera, 21um Resolution을 이용한 검사 Item은 Chipping, Macro Crack, Contamination이며,
IR imaging Camera, 40um Resolution을 이용하여 Micro Crack 검사가 가능.
또한 ATI ezVision 3600의 Breakage Rate는 0.1% 미만으로, 이는 Wafer의 두께가 180um 기준.
ATI ezVision 3600 is for 5~6" Mono/Multi Crystal Silicon Wafer inspection, and it is able to inspect 3,600 wafers per hour.
It is able to inspect Geometry such as, width, height, diagonal and parallelism of Solar Wafer within 100um accuracy by using high resolution vision camera.
Specific inspection items are Chipping, Macro Crack and Contamination by using top & bottom two cameras with 21um resolution and using IR imaging camera with 40um resolution, it can be able to inspect Micro crack as well.
In addition, ATI ezVision 3600 has less than 0.1% of Breakage Rate, which is based on 180um thickness of wafer.

4. 기타
반도체 소재인 리드프레임 자동 검사장비 개발을 시작으로 사업영역을 다각화하여, 반도체 패케이징 신소재와 FPC, HDI, PCB, SOLAR, LED 등 전자부품 자동 검사장비을 개발
www.ati2000.co.kr