최첨단 솔라셀 공정에 우리가 빠질 수 없다. 헝가리의 태양광계측장비 회사, SEMILAB!

 4월 6일~8일 3일간 대구 EXCO에서 그린에너지엑스포가 열렸다. 국내외 에너지관련 기업 250개사가 참여하는 국내최대의 국제 신재생에너지 전시회다. 태양전지 공정에 필요한 계측장비를 만드는 Semilab은 2009년 한국지사를 설립한 후 2010년부터 매년 그린엑스포에 참가하고 있다.

 

 Semilab은 1989년에 Research Institute for Technical Physics of the Hungarian Academy of Sciences에서 독립하여 설립된 헝가리 부다페스트 소재 회사이다. 처음으로 출시한 제품은 DLTS(Deep Level Transient Spectroscopy, 반도체 내 전하가 만드는 전기적 결함을 발견하는 장비)이며, 그 이후로 점차 분야를 넓혀왔다. 반도체, 태양전지 제조공정을 검사하는 최첨단 검사 및 계측장비를 제조하고 있으며, 특히 태양전지 프론트엔드 공정 부문의 계측장비는 세계시장에서 90%에 달하는 엄청난 점유율을 보유하고 있으며, 총 매출액은 5500만 USD(한화 약 629억원, 2008년 기준)에 이른다. 장비들은 ellipsometry(타원편광법)등을 이용하여 박막두께, 이온주입두께, 유전분극 등을 측정하여 모니터에 도시화해준다. 또한 태양전지 웨이퍼의 질을 구별하여 올바르게 공정된 웨이퍼만 선별하여 다음공정으로 넘어갈 수 있게 해주는 등 많은 역할을 하고 있다.

 

 세미랩코리아는 2009년 11월에 경기도 수원에 설립되어 2010년부터 매년 대구그린엑스포와 세미콘 코리아에 참가하고 있으며, 올해 그린에너지엑스포에서는 웨이퍼측정맵퍼 WT-2000을 선보였다. WT-2000은 반도체 웨이퍼의 carrier lifetime(반도체 내 양/음전하 중 수가 더 적은 전하가 재결합하는 데까지 걸리는 시간), 확산속도, 이온주입도 등을 측정하는 장비로, 불순물여부나 유전분극을 측정하는데 사용될 수 있다.

▲세미랩코리아 박수용대표와 기자단, 뒤로 보이는 것이 WT-2000 계측기.

세미랩코리아의 박수용 대표를 직접만나 정밀계측장비 및 태양광산업에 대한 이야기를 들어보았다.

 

Q. 간단한 회사소개 부탁드립니다.

A. 우리회사는 반도체, 태양전지 등에 필요한 정밀계측기를 만든다. Metrology를 한글로 해석하면 ‘측량’ 정도로 해석되지만, 정확히 말하자면 정밀계측기 회사이다. 보통 측량이라 하면 m, kg정도로 단위 자체가 크지만, 우리 회사의 장비들은 나노미터(10-9미터), Å(10-10미터) 정도의 매우 작은 단위를 다루는데, 이를 통해 반도체, 태양전지, LCD등을 만드는 공정에서 공정이 잘 이루어졌는지 검사하는 역할을 한다.

 

Q. 그린에너지엑스포에 참여한 많은 회사들 중에서 계측회사는 많지 않은데, 어떻게 해서 참여하시게 되신 건지?

A. 산업화가 되려면 고객도 있어야하지만 처음 기술을 만드는 데는 그 기술이 적합한지 부합한지를 테스트하는 것이 필요하다. 예를 들어, 휴대폰을 만들려했을 때, 잘 작동이 되는지, 습기가 찾을 때 잘 버틸 수 있는지, 다양한 상황에서 검사가 필요한데 측량기들이 이러한 역할을 해준다. 다른 태양광분야, 배터리 분야 회사 등 과 같이 중요한 분야이다.

 

Q. 지금 협력중인 기업이나 공급업체들은 어디인지?

A. 최근 LG전자가 국내 최고 고효율셀을 만들었는데, 구미 태양광생산라인에 이에 필요한 측량기구들을 공급하였다. 또한, 국내회사 중 태양전지를 대량생산할 수 있는 거의 유일한 회사인 한화큐셀 셀라인에도 장비들을 공급하였다. 작년까지만 해도 우리나라 전체 태양광 마켓이 1기가였다. 하지만 최근 한화가 1.5G라인을 지었고, 이번에 LG가 1.2G정도 셀라인을 더 확장하면 태양광이라는 시장이 국내에도 형성되었다고 볼 수 있다. 지금 이 과정에서 우리 회사가 메인으로 공급하고 있다. 또한, 외부업체나 학교들에게 학교 측에 맞는 장비를 공급하고 있다.

 

Q. 다른 회사들과 차별성은?

A. 모든 산업에서 그렇듯이, 계측장비 회사들에게 제일 중요한건 누가 먼저 표준을 만드느냐이다. 태양광 산업은 한국이 만든 마켓이 아니기 때문에 새로운 제품의 표준을 만들기 위해서 우리 같은 회사들이 그 제품의 규격에 맞는 장비들을 공급해야한다. 다행히도 세미랩은 헝가리, 즉 태양광 산업을 이끄는 유럽에 있는 국가이다 보니 최신 표준을 많이 보유하고 있다. 이에 따라 표준을 만들 수 있는 가능성이 높다고 할 수 있다.

 

Q. 마지막으로 전망과 산업전반에 대하여

A. 우리나라는 사실 태양광산업이 많이 뒤쳐져있는 국가이다. 태양광산업에 관련된 특허는 대부분 독일 등 외국에 있고, 우리나라는 이를 어떻게 잘 적용할 지를 고민해봐야 한다. 다행인 것은 이제 한화 큐셀에서 대형(최소 2기가와트이상) 솔라셀 시장을 만들 수 있는, 대량생산기술을 구축을 했다는 것이고, 이에 따른 태양광장비 구축이나 산업의 발전을 기대해 볼 수 있다. 또한 태양전지의 발전효율을 크게 높일 수 있다면 같은 시간당 발전량 자체가 달라지기 때문에 이는 태양광산업의 판도를 바꿔 놓을 수 있는 원천이 된다. 우리나라에서 이러한 기술발전이 이루어지길 바란다.

 태양광발전이 우리나라에, 혹은 전세계적으로 더욱 확산이 되기위해서는 법과 제도, 사람들의 인식도 바뀌어야겠지만, 이를 선도할 수 있는 기술이 우선되어야 한다. 태양광발전의 확산에는 해당국가의 태양전지 대량생산 가능여부가 많은 것을 결정하게 되는데, 여기에는 반도체의 성능에 대한 보장이 필수적으로 수반되어야 한다. 세미랩의 정밀계측 장비들은 이러한 성능보장을 가능케 해주고 있으며, 반도체인 태양전지에 대한 최첨단 연구를 가능하게 해주고 있다.